Prisma Plus™

Espectrómetro de masas cuadrupolar para Análisis de Gases Residuales Tamaño compacto pero con altas prestaciones.

  • Varias interfaces facilitan la integración de sistemas.
  • Conexion Ethernet.
  • Mediciones en tiempo real.
  • Gran estabilidad y unidad de resolución.
  • Posibilidad de intercambiar analizadores y componentes electrónicos.
  • Dos filamentos permiten el máximo tiempo de operación.
  • Amplio rango de detección: 100% – 1 ppb.
  • Rango de masas: 1-100 uma; 1-200 uma; 1-300 uma.
  • Presión mínima detectable: 1 x 10-14mbar.
  • Obtención  de espectros analógicos, barras y detección de iones múltiples.
  • Conectable con todas las válvulas de presión de Pfeiffer Vacuum.

Descripción del Producto

Prima PlusTM  es la solución perfecta para espectrometría de masas gracias a una combinación de alta sensibilidad, máxima estabilidad y manejo inteligente.

Su diseño modular lo hacen idóneo para una gran variedad de aplicaciones, tanto en industria como en laboratorio: investigación y desarrollo, detección de fugas, semiconductores y coating.  La solución para un rango de aplicaciones que van desde el aseguramiento de la calidad hasta el análisis de gas residual mediante tareas complejas y cuantitativas.

Software QUADERATM

Análisis cualitativo

  • Obtención de espectros en forma analógica.
  • Obtención de espectros en continuo en forma de barras, para la detección de diferentes iones en el rango de masas seleccionado.
  • Detección de hasta 128 masas preseleccionadas y seguimiento de su evolución en el tiempo.
  • Eliminación automática de la señal de gas residual en la cámara de análisis.
  • Modo de comprobación de fugas de He en el sistema.
  • Medida de la presión total del sensor de vacío.
  • Programa de almacenamiento de datos.
  • Exportación de datos para su posterior interpretación.
  • Calibración de la escala de masas.
  • Librería de espectros con ayuda de interpretación.
  • Programación de secuencias de trabajo para manejo automático del sistema.

Análisis cuantitativo.

  • Determinación de las concentraciones de hasta 128 componentes y seguimiento en continuo de su evolución en función del tiempo.
  • Determinación de la sensibilidad del espectrómetro de masas.
  • Obtención de factores de calibración para los fragmentos de los diferentes átomos y moléculas por medio del programa de resolución de ecuaciones matriciales. Utilización de mezclas de gases de calibrado.
  • Medida y eliminación automática del residual del espectrómetro de masas.
  • Programa de almacenamiento de datos y exportación para su interpretación.

Especificaciones Técnicas

Intervalo de masas1-100 uma
Fuente de ionizaciónAbierta
DetectorFaraday/C-SEM
Sensibilidad para Ar200 A/mbar
Presión máxima de trabajo con Faraday1 x 10-4 mbar
Presión máxima de trabajo con C-SEM1 x 10-5 mbar
CátodoWolframio
Límite de detección< 1 x 10-14 mbar
Concentración mínima detectable<1 ppm
Velocidad de barrido2 ms a 60 s /uma
Temperatura Max300 º C
Resolución (10% altura pico)0.5 –2.5 uma en todo el intervalo de masas
Peso3,8 Kg
BridaDN 40 CF-F
Monitorización de compuestosEn continuo, permitiendo la selección de hasta 128 compuestos

Aplicaciones

La solución para un rango de aplicaciones que van desde el aseguramiento de la calidad hasta el análisis de gas residual mediante tareas complejas y cuantitativas:

  • Metalurgia
  • Hornos de Vacío
  • Aceleradores
  • Sputtering
  • Fabricación de semiconductores
  • Recubrimientos de vidrio
  • Investigación y Desarrollo
  • Sistemas de Vacío
  • Litografías

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